Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Deje de adivinar las temperaturas de las obleas
Si pretende crear una “fábrica inteligente”, seguramente ya se ha dado cuenta de que reaccionar ante los problemas después de que ocurran es una pesadilla. Es necesario conocer qué está sucediendo en este momento.
Pero aquí está el problema con las herramientas utilizadas para medir las temperaturas de las obleas: no se puede simplemente colocar un termopar sobre la superficie de la oblea. Eso contaminaría todo el lote o incluso deformaría físicamente la oblea. No es una solución viable.
Por eso dependemos de sistemas infrarrojos de alta eficiencia. En lugar de tocar la oblea, estos sensores simplemente “observan” la radiación térmica y la convierten en datos digitales. De esta manera, se obtiene un mapa completo de las temperaturas de toda la oblea en pocos milisegundos. Es muy rápido. Realmente rápido.

Lámpara infrarroja para herramientas de Applied Materials

Mon, 22 Jun 2026 23:18:52 +0800

En la superficie de la oblea, un calorímetro de 90°C no es simplemente una temperatura cualquiera: representa el “presupuesto térmico” necesario para controlar el ancho de las líneas impresas. Si se aumenta la temperatura en medio grado, los productos terminados presentarán defectos que solo se manifestarán después del proceso de revelado. Por eso, hemos desarrollado una lámpara infrarroja para los equipos de Applied Materials, con el fin de reducir esa variación térmica desde su origen.

```Python on Custom Infrared Heating Builds

Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Lámpara infrarroja para herramientas de Applied Materials