http://ir-heat-build.com/es/tags/calor/ Recent content in Calor on Custom Infrared Heating Builds Hugo es Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/es/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Sat, 06 Jun 2026 03:49:37 +0800 http://ir-heat-build.com/es/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Calor uniforme para oblea IR de 300 mm"></p> <p>En una línea de 300mm, el soft bake y el hard bake no son solo pasos térmicos, sino también puntos críticos para el rendimiento. Si el calentamiento por IR no es uniforme, se observarán variaciones en el ancho de línea, rebordes en los bordes y residuos que sobreviven al proceso de limpieza. No se puede compensar esto mediante inspección. Hay que corregir el perfil de temperatura desde el origen.</p> <p><strong>Lo que importa técnicamente</strong><br> Construimos el calentador IR para obleas de 300mm alrededor de un infrarrojo de onda corta, con reflectores diseñados y control de zona en bucle cerrado. Esto proporciona una uniformidad a nivel de oblea dentro de ±0.1°C. Esta <a href="https://o-yate.com">banda</a> estricta protege el presupuesto térmico del fotoresistente a lo largo de toda la pila del filme. La zona caliente se mantiene bajo control de partículas para integración en salas limpias clase 1–100, y hemos verificado que no genera partículas según la <a href="https://goldisgood.com">metrolog</a>ía en línea. La repetibilidad está integrada en el diseño: los puntos de consigna reproducen el mismo perfil térmico corrida tras corrida, lote tras lote.</p>