http://ir-heat-build.com/de/tags/temperatur/ Recent content in Temperatur on Custom Infrared Heating Builds Hugo de Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Temperatursensor für Wafer Werkzeuge"></p> <h1 id="hören-sie-auf-die-temperatur-der-wafers-zu-erraten">Hören Sie auf, die Temperatur der Wafers zu erraten</h1> <p>Falls Sie versuchen, eine „intelligente Fertigungsanlage“ zu entwickeln, haben Sie sicherlich erkannt, dass es eine Katastrophe ist, erst auf Probleme reagieren zu müssen, nachdem sie bereits aufgetreten sind. Man muss wissen, was gerade passiert.</p> <p>Doch hier liegt das Problem bei den Werkzeugen zur Messung der Wafertemperaturen: Man kann einfach keinen Thermoelement direkt auf das Substrat kleben – dadurch würde die ganze Charge kontaminiert oder die Wafer würden physisch beschädigt. Das ist also keine Lösung.</p> http://ir-heat-build.com/de/posts/high-precision-temperature-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:20:07 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Hochpräziser Temperaturheizer"></p> <p>Im Bereich der Lithografie lernt man schnell: Schon eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses des Fotoleitmittels reicht aus, um die kritischen Abmessungen zu verändern – und damit viel Material unbrauchbar zu machen. Wir haben daher einen Hochpräzisionsheizer entwickelt, der das verhindert – indem er eine thermische Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C gewährleistet, sowohl beim weichen als auch beim harten Trocknungsprozess.</p> <p>Was wirklich wichtig ist, sind Kontrolle, Wiederholgenauigkeit sowie eine saubere Umgebung. Der Heizer nutzt Kurzwellen-Infrarotstrahlung, wodurch er schnell und zuverlässig reagieren kann, um die Temperatur des Wafers stabil zu halten. Quarzkomponenten sowie eine für Reinräume geeignete Konstruktion sorgen dafür, dass keine Partikel entstehen – was in Umgebungen der Klassen 1–100 erforderlich ist. Integrierte Sensoren und Steuerelemente ermöglichen eine Echtzeit-Kontrolle – dadurch bleiben die Einstellungen für den Fotoleitmittelprozess von Charge zu Charge konstant, selbst wenn die Spannung im System schwankt.</p>