Sensor on Custom Infrared Heating Builds

Heizer zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800

Reduzierung des Kohlenstoffausstosses bei der Trocknung von MEMS-Sensoren mit Infrarotstrahlung
Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit von den Wafern zu entfernen. Dabei handelt es sich um einen heiklen Prozess – man muss die Feuchtigkeit beseitigen, darf aber nicht einfach Wärme einsetzen, sonst verformen sich die Wafer.

Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen. Anstatt die Luft sowie alle anderen Gegenstände im Raum zu erhitzen, wirken die Infrarotstrahlen direkt auf die Wassermoleküle. Es handelt sich dabei um eine gezielte Wärmeeinwirkung.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sat, 18 Jul 2026 03:56:13 +0800

Hören Sie auf, die Temperatur der Wafers zu erraten

Falls Sie versuchen, eine „intelligente Fertigungsanlage“ zu entwickeln, haben Sie sicherlich erkannt, dass es eine Katastrophe ist, erst auf Probleme reagieren zu müssen, nachdem sie bereits aufgetreten sind. Man muss wissen, was gerade passiert.

Doch hier liegt das Problem bei den Werkzeugen zur Messung der Wafertemperaturen: Man kann einfach keinen Thermoelement direkt auf das Substrat kleben – dadurch würde die ganze Charge kontaminiert oder die Wafer würden physisch beschädigt. Das ist also keine Lösung.

Präziser IR Sensor für Wafern

Wed, 15 Jul 2026 09:50:14 +0800

Sicherheit bei der Erwärmung brennbarer Chemikalien
Seien wir ehrlich: Das Erwärmen von Wafern in chemischen Lösungen ist äußerst riskant. Wenn man mit flüchtigen, brennbaren Lösungsmitteln arbeitet, sind die Konsequenzen katastrophal. Schon eine kleine Funke oder eine Lampe, die zur falschen Zeit ausfällt, kann zu einer Explosion führen. Es handelt sich dabei um ein Albtraumszenario.

Deshalb bauen wir die Lampen nicht einfach nur so – wir umhüllen sie stattdessen mit einem schützenden Gehäuse. So werden die elektrischen Komponenten von allem anderen getrennt, damit die Umgebungstemperatur keine Katastrophe auslösen kann.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Tue, 30 Jun 2026 04:51:15 +0800

In der Verpackungslinie für intelligente Sensoren ist eine gleichmäßige Temperatur nicht nur von Vorteil – sie ist vielmehr entscheidend dafür, ob Produkte funktionstüchtig werden oder als Ausschuss enden. Eine Temperaturschwankung von 1 °C während der Aushärtung des Epoxys oder ein „heißer Punkt“ beim Versiegeln des Deckels führen zu Fehlkalibrierungen und damit zu Fehlern in der Produktion. Unsere Infrarot-Thermalsysteme wurden genau für diese Anforderungen entwickelt.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Dadurch wird das Produkt direkt und kontaktlos erhitzt – ohne dass die benachbarten Polymertelemente überhitzt werden. In der aktiven Zone bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C. Die Wiederholgenauigkeit wird durch eine Schleifensteuerung am Substrat gewährleistet – nicht am Heizelement selbst. Die Anlage eignet sich perfekt für Reinräume der Klasse 1–100. Wir stellen sicher, dass während des Trocknungs- und Aushärtungsprozesses keine Partikel entstehen. Es handelt sich dabei um eine zuverlässige Lösung, die rund um die Uhr einsatzbereit ist – ohne unplanmäßige Ausfälle. Die Module können leicht ausgetauscht werden, wodurch die Wartungszeiten auf wenige Minuten beschränkt bleiben.