http://ir-heat-build.com/de/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Custom Infrared Heating Builds Hugo de Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="PECVD Heizung Infrarotemitter"></p> <p>Im Produktionsbereich bestimmt das Temperaturprofil innerhalb einer PECVD-Kammer über die Eigenschaften des entstehenden Films. Wenn der Strahler anfängt, aus dem Gleichgewicht zu geraten, merkt man das sofort – auch der Spannungsgrad des Films, die Dicke des Films sowie die Anzahl der Partikel ändern sich entsprechend. Wir haben unseren PECVD-Heizstrahler so konzipiert, dass er den Anforderungen der modernen Fertigungssysteme entspricht. Er kann somit als Ersatz für die bereits vorhandenen Geräte eingesetzt werden.</p> <p>Der Kern des Strahlers besteht aus Kurzwellen-Infrarotstrahlung, die dazu dient, Wärme direkt in den Quarzkörper sowie in den Substratträger abzugeben. Die Reaktion erfolgt in unter einer Sekunde – dadurch können die Einstellungen schnell wieder auf den richtigen Wert gebracht werden, sobald eine Tür geöffnet wird oder sich die Verarbeitungsparameter ändern. Auf Wafer-Ebene bleibt die <a href="https://henruite.com">Homogenit</a>ät bei ±0,1°C – das sorgt dafür, dass die Profile für das Weich- und Hartbrennen des Fotoleits übereinstimmen und eine präzise Kontrolle der CD-Werte möglich ist.</p>