Heizer zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800

Reduzierung des Kohlenstoffausstosses bei der Trocknung von MEMS-Sensoren mit Infrarotstrahlung
Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit von den Wafern zu entfernen. Dabei handelt es sich um einen heiklen Prozess – man muss die Feuchtigkeit beseitigen, darf aber nicht einfach Wärme einsetzen, sonst verformen sich die Wafer.

Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen. Anstatt die Luft sowie alle anderen Gegenstände im Raum zu erhitzen, wirken die Infrarotstrahlen direkt auf die Wassermoleküle. Es handelt sich dabei um eine gezielte Wärmeeinwirkung.

MEMS Herstellung Infrarot Heizgerät

Fri, 05 Jun 2026 03:52:51 +0800

Auf der Fertigungsebene

Die Temperaturdrift während des Backens des Fotolacks ist kein akademisches Experiment. Sie äußert sich in einer Variabilität der Linienbreite, schlechter Haftung und Wafern, die im Ausschuss landen. In der MEMS-Technologie, wo thermische Budgets eng sind und Filme dünn, kann man bei einer Abweichung von 0,5 °C die Ausbeute verlieren. Man benötigt einen Heater, der den Sollwert wie eine Schraubzwinge hält, Zyklus für Zyklus.

Was im Inneren zählt Unser infrarot-Heizer für die MEMS-Fertigung basiert auf kurzwelligen Infrarotelementen (SWIR) in einem quartzverstärkten Design, sodass er schnell mit Strahlungswärme reagiert. Über dem Wafer bleibt die Gleichmäßigkeit innerhalb von ±0,1 °C, und die Wiederholbarkeit wird in Millisekunden, nicht in Minuten, gemessen. Er eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und ist so konstruiert, dass er keine Partikel erzeugt—kein Ausgasen, kein Abblättern. Die Energiezufuhr ist stabil, mit enger Spannungstoleranz und konsistenter Bestrahlung, sodass das thermische Profil des Fotolacks während des Soft-Bakens und des Hard-Bakens vorhersehbar bleibt.

MEMS on Custom Infrared Heating Builds

Heizer zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

MEMS Herstellung Infrarot Heizgerät

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