http://ir-heat-build.com/de/tags/lithografie/ Recent content in Lithografie on Custom Infrared Heating Builds Hugo de Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 12:21:54 +0800 http://ir-heat-build.com/de/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Ersatzteil für ASML Lithografielampe"></p> <p>Auf der Fertigungsfläche führt ein Versagen der Lithographielampe nicht nur dazu, dass das jeweilige Werkzeug nicht mehr funktioniert – es stoppt auch die gesamte Abfolge von Schritten, die für die Geometrie des Bauteils notwendig sind. Wenn die Lampe an Leistung verliert, verschleichen sich die Werte der „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozesse, die Dicke des Fotolacks ändert sich, und es entsteht keine Wiederholgenauigkeit bei der Produktion. Die Ersatzteile für ASML-Lithographielampen sind so konzipiert, dass das thermische Gleichgewicht aufrechterhalten wird – dadurch bleiben die Schritte der Bestrahlung, des Vorbehandelns und der Aushärtung innerhalb der vorgegebenen Parameter.</p>