Lab on a Chip Trocknungsheizung

Tue, 02 Jun 2026 05:53:35 +0800

Auf dem Fertigungsboden löst thermische Drift während Trocknungs- oder Backschritten keinen Alarm aus. Sie zeigt sich als Drift in kritischen Maßen, Ertragsverluste bei der Verpackung und eine steigende Partikelzahl nach der Reinigung. Wir haben den Lab on a Chip Trocknungsheizer entwickelt, um das thermische Verhalten stabil zu halten, wo das Prozessfenster eng ist – Wafer-Trocknung, Photoresist Softbake und Hardbake, Aushärtung von Verkapselungen und Trocknung nach der Reinigung.

Was wirklich zählt, ist die Wiederholbarkeit unter Last. Der Heizer hält eine Uniformität von ±0,1°C über die aktive Zone, regelt schnell ein und minimiert Überschwinger. NIR-Elemente liefern Energie schnell und berührungslos, und das System eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 dank einer partikelsparenden Bauweise und reinraumkompatiblen Materialien. Die Regelung arbeitet im geschlossenen Regelkreis, ist rückverfolgbar und von Charge zu Charge reproduzierbar, sodass das thermische Budget innerhalb der Spezifikation bleibt.

Laboratorium on Custom Infrared Heating Builds

Lab on a Chip Trocknungsheizung