Keramisches Endkappe für IR Emitter

Thu, 09 Jul 2026 05:03:24 +0800

Wie wir eine Strahlungswärmequelle ohne Kontamination entwickeln
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, dass herkömmliche Heizelemente nicht ausreichen. Sie setzen winzige Partikel frei und geben Gase von billigeren Materialien ab. Das ist ein Risiko, das man sich nicht leisten kann.

Deshalb haben wir unseren IR-Strahler so konstruiert, dass er um einen keramischen Endkappen besteht. Dadurch bleiben die elektrischen Verbindungen weit entfernt von der Reinzonenzone. Somit gibt es in Ihrer Reinluft nur noch einen Hochreinheitsquarzglasrohr – nichts anderes.

PECVD Heizung Infrarotemitter

Mon, 22 Jun 2026 23:10:09 +0800

Im Produktionsbereich bestimmt das Temperaturprofil innerhalb einer PECVD-Kammer über die Eigenschaften des entstehenden Films. Wenn der Strahler anfängt, aus dem Gleichgewicht zu geraten, merkt man das sofort – auch der Spannungsgrad des Films, die Dicke des Films sowie die Anzahl der Partikel ändern sich entsprechend. Wir haben unseren PECVD-Heizstrahler so konzipiert, dass er den Anforderungen der modernen Fertigungssysteme entspricht. Er kann somit als Ersatz für die bereits vorhandenen Geräte eingesetzt werden.

Der Kern des Strahlers besteht aus Kurzwellen-Infrarotstrahlung, die dazu dient, Wärme direkt in den Quarzkörper sowie in den Substratträger abzugeben. Die Reaktion erfolgt in unter einer Sekunde – dadurch können die Einstellungen schnell wieder auf den richtigen Wert gebracht werden, sobald eine Tür geöffnet wird oder sich die Verarbeitungsparameter ändern. Auf Wafer-Ebene bleibt die Homogenität bei ±0,1°C – das sorgt dafür, dass die Profile für das Weich- und Hartbrennen des Fotoleits übereinstimmen und eine präzise Kontrolle der CD-Werte möglich ist.

Emitter on Custom Infrared Heating Builds

Keramisches Endkappe für IR Emitter

PECVD Heizung Infrarotemitter