Snížení uhlíku při sušení v MEMS za pomoci infračerveného záření Při výrobě senzorů typu MEMS je odstranění vlhkosti z tyčinek velmi náročný proces....

Na výrobní lince není odchylka teploty během pečení fotoresistu jen akademickým cvičením. Projevuje se jako variabilita šířky čáry, špatná adheze a...