আইআর ব্যবহার করে MEMS সেন্সরগুলোকে শুকানোর সময় কার্বন নিঃসরণ কমানো সম্ভব।
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময়, ওই ওয়েফারগুলো থেকে আর্দ্রতা অপসারণ করা খুবই কঠিন কাজ। আর্দ্রতা অপসারণ করতে হলে, শুধুমাত্র তাপ ব্যবহার করা যাবে না; কারণ তাহলে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।
এজন্যই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি। ঘরের বাতাস বা অন্যান্য জিনিসগুলোকে গরম করার পরিবর্তে, IR ল্যাম্পগুলো সরাসরি জলের অণুগুলোকে গরম করে। এটা খুবই কার্যকর উপায়।
বাতাসকে গরম করার দরকার নেই।
ঐতিহ্যবাহী কনভেকশন ওভেনগুলো খুবই বিদ্যুৎ-খরচী। ওয়েফারগুলো গরম হওয়ার আগেই অনেক বিদ্যুৎ খরচ হয়ে যায়। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো ঠিক সেখানেই তাপ সরবরাহ করে, যেখানে প্রয়োজন। এর ফলে মেশিনটি গরম হতে সময় লাগে না। পরবর্তী লটটি প্রস্তুত না হওয়া পর্যন্ত ল্যাম্পগুলো বন্ধ রাখা যায়। কোনো অপচয় হয় না।
ক্লিনরুমের সমস্যা।
MEMS পরিবেশে একটি ছোট্ট ধূলিকণাও বিপর্যয় ডেকে আনতে পারে। এটা পুরো লটটিকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা এড়াতে আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এগুলো কোনো ধূলিকণা নিঃসরণ করে না।
কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে। উচ্চ তাপমাত্রা অর্জন করার জন্য ল্যাম্পগুলোর উপর অনেক চাপ পড়ে। যদি সাবধান না হওয়া হয়, তাহলে ল্যাম্পগুলো খুব দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে। এটা এড়াতে ল্যাম্পগুলোর চারপাশে ঠান্ডা বাতাস সরবরাহ করা হয়। এটাই সঠিক সমাধান।
তাপের ভারসাম্য।
এখানেই সমস্যা রয়েছে। আপনি যত দ্রুত কাজ সম্পন্ন করতে চান, ততই বেশি বিদ্যুৎ প্রয়োজন। উচ্চ-ক্ষমতার ল্যাম্পগুলো কাজ দ্রুত সম্পন্ন করতে সাহায্য করে, কিন্তু এগুলো খুবই গরম হয়ে যায়—বিশেষ করে ল্যাম্পের সংযোগস্থলগুলোতে।
যদি ঠান্ডা বাতাস সরবরাহ না করা হয়, তাহলে ওয়্যারিংগুলো নষ্ট হয়ে যাবে। এটা একটি চ্যালেঞ্জ। আপনাকে হার্ডওয়্যারগুলোকে ঠান্ডা রাখতে হবে, আবার ওয়েফারগুলোকেও শুকনো রাখতে হবে।
IR ব্যবহার করলে কাজ দ্রুত সম্পন্ন হয়। এছাড়া, এটা ফোর্সড-এয়ার সিস্টেমের অপচয় কমায়। এটা কার্বন-নিউট্রাল লক্ষ্য অর্জনের জন্য একটি ভালো উপায়।