فیبرک فلور پر، نرم بیکنگ یا سخت بیکنگ کے دوران 0.1°C کا فرق بھی CD کی کوالٹی کو متأثر کرنے، اس پر جھاگ جمنے، اور پیداواری صلاحیت کو کم کرنے کے لئے کافی ہے۔ روایتی ڈرائرز، حرارتی تغیرات اور ذرات کی وجہ سے پیدا ہونے والے مسائل سے نمٹنے میں ناکام رہتے ہیں۔ ہم نے ایسا ڈرائر تیار کیا ہے جو ان مسائل کو دور کرتا ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم کوارٹز سے الگ تھلگ کمرے میں شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کا استعمال کرکے ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں؛ اس طرح ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے کلین رومز میں کام کرتا ہے، اور ہم ان-لائن مانیٹرنگ کے ذریعے یقین کرتے ہیں کہ کوئی ذرہ پیدا نہیں ہو رہا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کو ±0.2°C کے اندر رکھا جاتا ہے، تاکہ کریٹیکل ڈائمینشنز اور سائیڈ وال پروفائل میں کوئی تغیر نہ آئے۔ ہیٹر کی ساخت کی وجہ سے سبسٹریٹ کا درجہ حرارت ماحولیاتی تغیرات سے الگ رہتا ہے، لہذا ہر بیچ میں یکساں حرارتی حالت حاصل ہوتی ہے۔
یہ لیتھوگرافی کے عمل کے لئے کیوں مناسب ہے؟
لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، ڈرائر براہ راست لائن ویڈتھ، چپکنے کی خصوصیات، اور باقی رہنے والے حل کی مقدار کو کنٹرول کرتا ہے۔ اچھی یکسانیت کی وجہ سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے۔ کلین روم کی خصوصیات اور ذرات کی عدم موجودگی کی وجہ سے خرابیوں کی تعداد کم رہتی ہے، اور پروسیس بغیر کسی رکاوٹ کے جاری رہتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ایمیٹرز تیزی سے کام کرتے ہیں اور کم پاور پر بھی کام کرتے رہتے ہیں۔ نتیجے کے طور پر پروسیس مستحکم رہتا ہے، اور سائیکل ٹائم بھی قابل اعتماد رہتا ہے۔
انسٹالیشن کے لئے کیا ضروری ہے؟
اس یونٹ کے لئے خصوصی، فلٹرڈ پاور سپلائی اور نائٹروجن کا استعمال ضروری ہے، تاکہ پورے درجہ حرارت پر بھی ذرات کی مقدار کنٹرول میں رہے۔ اسے معیاری ٹریکس پر آسانی سے نصب کیا جا سکتا ہے، لیکن ہیٹ ماس اور کنیکٹر کی سمت کو موجودہ ہینڈلر سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے، تاکہ کوئی میکانی رکاوٹ نہ پیدا ہو۔ بیکنگ کے عمل کو درست کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ ضروری ہے؛ ایک بار یہ درست ہو جائے، تو پروفائل ہر شفٹ اور ہر بیچ میں یکساں رہتا ہے۔