لیتھوگرافی کے عمل میں، تیزی سے سیکھنا ضروری ہے؛ فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران صرف نصف ڈگری کی غلطی بھی اہم پیمائشوں کو متاثر کر سکتی ہے، جس کی وجہ سے مصنوعات بیکار ہو جاتی ہیں۔ ہم نے اعلی درستگی والے درجہ حرارت کنٹرولر تیار کئے ہیں، تاکہ ایسی صورتحال سے بچا جا سکے؛ یہ کنٹرولر ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتا ہے، چاہے یہ نرم یا سخت بیکنگ کا عمل ہی کیوں نہ ہو۔
اس عمل میں اہم چیزیں تو بہت سادہ ہیں: کنٹرول، دہرانے کی صلاحیت، اور ماحول کو صاف رکھنا۔
یہ ہیٹر شارٹ-ویو انفراریڈ کا استعمال کرتا ہے، اس لیے یہ فوری طور پر ردِعمل دے کر ویفر کے درجہ حرارت کو استحکام دیتا ہے۔ کوارٹز کے اجزاء اور صاف ماحول کی وجہ سے ذرات کی پیداوار صفر رہتی ہے، جو کہ کلاس 1–100 کے ماحول کے لئے ضروری ہے۔ انٹیگریٹڈ سینسنگ اور کنٹرول سسٹم، ریئل ٹائم میں درجہ حرارت کو کنٹرول کرتا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت مستقل رہے، چاہے لائن کا وولٹیج تبدیل بھی ہو جائے۔
درجہ حرارت، لیتھوگرافی میں حل کی خارجیکرن اور پولیمر کے درمیان روابط کو کنٹرول کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔
ہمارا ہیٹر، نرم بیکنگ کے دوران غیرضروری مواد کو ختم کرتا ہے، اور پھر سخت بیکنگ کے ذریعے ویفر کی چپکنے کی صلاحیت کو بہتر بناتا ہے۔ اس کے نتیجے میں CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور بیکنگ کا وقت بھی کم لگتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ سسٹم جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اسے کم سے کم اضافی وولٹیج کے ساتھ ہی برقرار رکھتا ہے۔
انسٹالیشن سے قبل چند اہم نکات: انسٹالیشن کے لئے الگ پاور سپلائی اور مناسب تھرمل انسولیشن ضروری ہے، تاکہ دیگر یونٹس سے کوئی مداخلت نہ ہو۔ فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے لئے ترتیبات کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ یہ یونٹ زیادہ تر ٹریک انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن اگر آپ پرانے پلیٹ فارمز کے ساتھ استعمال کرنا چاہتے ہیں، تو آپ کو کسٹم میکانی ایڈاپٹر کی ضرورت پڑ سکتی ہے۔