На поверхности пластины температура во время процесса выпечки составляет 90°C. Эта температура не является просто числом — это параметр, который определяет степень контроля над шириной линий на пластине. Если сместить температуру на полоградусный интервал, то на готовой продукции появятся дефекты, которые проявятся только после процедуры обработки. Мы разработали инфракрасную лампу для оборудования компании Applied Materials, чтобы свести к минимуму такие отклонения.
Что имеет значение с технической точки зрения? Речь идет о коротковолновом инфракрасном излучении, настроенном таким образом, чтобы соответствовать спектру поглощения фоторезиста. Настоящим параметром является тепловая однородность: отклонение температуры на поверхности пластины не должно превышать ±0,1°C во время процесса выпечки. Этот показатель измеряется с помощью калиброванных термопар в условиях потока процессной газовой среды. Кварцевый корпус и керамические элементы предназначены для использования в чистых помещениях класса 1–100; при стабильной работе они не создают никаких частиц. Повторяемость результатов остается в пределах 1% на протяжении более 5 000 часов работы, что позволяет сохранять стабильность ширины линий на пластине при каждой партии продукции.
Почему это важно? Оборудование компании Applied Materials работает в строго контролируемых температурных условиях, а процесс обработки фоторезиста чувствителен к скорости изменения температуры и времени ее поддержания. Лампа может быть установлена в существующую камеру без изменения механической конфигурации оборудования, а система управления позволяет быстро корректировать температуру во время смены газов и при открытии/закрытии дверей камеры. Это снижает количество необходимых корректировок, что повышает производительность. Кроме того, снижается энергопотребление, так как лампа нагревается только тогда, когда это необходимо. Когда температурный профиль остается стабильным, можно избежать необходимости постоянного контроля за отклонениями температуры.
Практические детали Лампа работает с стандартными разъемами и элементами управления от оборудования Applied Materials. Однако необходимо убедиться, что используются правильные разъемы и крепления, соответствующие версии оборудования и конфигурации камеры. Необходимо провести краткую проверку для определения соответствия температуры параметрам вашего оборудования и установки значений регулировки. В чистых помещениях с высокой влажностью необходимо обеспечить сухость линий охлаждения и наличие систем вентиляции; конденсат может привести к аварийной остановке процесса. После настройки лампу больше не требуется калибровать, достаточно проводить регулярную проверку датчиков.