Na powierzchni płytki krzemowej termiczna obróbka przy temperaturze 90°C to nie tylko wartość temperatury – to także element kluczowy dla kontrolowania szerokości linii na płytkach. Jeśli temperatura wzrośnie o pół stopnia, to produkty będą miały wady, które ujawnią się dopiero po procesie wywoływania. Stworzyliśmy lampę podczerwoną przeznaczoną do urządzeń firmy Applied Materials, która pomaga kontrolować tę zmianę temperatury.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Chodzi o światło podczerwone o krótkiej długości fali, dostosowane tak, aby odpowiadać charakterystycznym właściwościom materiałów używanych do produkcji płytek krzemowych. Kluczową specyfikacją jest jednak jednorodność temperatury: ±0,1°C na całej powierzchni płytki podczas procesu obróbki.
To nie są dane z broszury – te wartości są mierzone za pomocą kalibrowanych termopar w warunkach przepływu gazu, a wyniki są stałe przez cały czas trwania procesu. Owiewka z kwarcu oraz elementy ceramiczne nadają się do stosowania w sterylnych pomieszczeniach, są zaprojektowane do pracy w warunkach klas 1–100, bez tworzenia żadnych cząstek podczas normalnej pracy.
Powtarzalność wyników procesu pozostaje na poziomie 1% nawet po 5.000 godzinach pracy, więc ta sama lampa zapewnia stałą jakość produktów, zarówno w jednym, jak i w kolejnych partiach.
Dlaczego to jest ważne? Urządzenia firmy Applied Materials pracują w środowisku o bardzo precyzyjnych warunkach termicznych, a proces obróbki materiałów fotorezystowych jest wrażliwy na szybkość zmian temperatury oraz czas trwania procesu. Lampa może być zamontowana w istniejącej komorze bez konieczności zmiany jej mechanizmu montażowego, a jej szybka reakcja umożliwia utrzymanie temperatury na ustalonej wartości podczas zmiany gazu lub otwierania drzwi komory.
Dzięki temu zmniejsza się liczba koniecznych korekt, co poprawia efektywność produkcji. Ponadto zmniejsza się zużycie energii, ponieważ lampa grzeje się tylko wtedy, gdy jest to konieczne, a nie w stanie spoczynku. Gdy profil termiczny pozostaje stabilny, można uniknąć konieczności ciągłej kontroli temperatury.
Praktyczne szczegóły Lampa działa przy standardowych złączach energetycznych i sterujących firmy Applied Materials, ale należy upewnić się, że złącza i elementy montażowe są odpowiednie dla danej wersji urządzenia i konfiguracji komory.
Należy przeprowadzić krótkie testy, aby sprawdzić temperaturę w różnych warunkach i ustalić odpowiedni poziom temperatury. W pomieszczeniach o wysokiej wilgotności należy utrzymać linie chłodzące suchymi i dobrze wentylowanymi – kondensacja może powodować przerwanie procesu obróbki. Gdy wszystko jest już dostosowane, nie ma potrzeby ponownej kalibracji, wystarczy regularna kontrola czujników.