W procesie litografii jednolitość temperatury podczas procesu wytapiania nie jest tylko elementem dodatkowym – to kluczowy czynnik wpływający na efektywność produkcji. Nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni płytki może zakłócić kontrolę jej wymiarów i doprowadzić do pojawienia się defektów w warstwie fotorezystu. Dlatego stworzyliśmy grzałki IR specjalnie zaprojektowane do pracy w środowiskach o wysokim poziomie czystości.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Elementy emitujące krótkofalowe promieniowanieIR dostarczają ciepło do płytki w szybki sposób, dzięki czemu temperatura szybko osiąga żądaną wartość. Jednolitość temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C w całej strefie wytapiania, a powtarzalność procesu jest utrzymywana w ścisłych granicach. Korpus grzałek jest przygotowany do pracy w środowiskach klasy 1–100, ze szczelnymi połączeniami i bez elementów, które mogłyby generować cząsteczki. Wydajność grzałek pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin, przy zmianie intensywności ciepła mniejszej niż 5%.
Proces obróbki fotorezystu nie toleruje niedbalego zarządzania temperaturą. Nasze grzałki IR umożliwiają uzyskanie odpowiedniej temperatury zarówno podczas procesu delikatnego, jak i intensywnego wytapiania. Ponadto grzałki szybko chłodzą się, co skraca czas cyklu i zwiększa wydajność produkcji. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ grzeje się samą płytkę, a nie ścianki komory. Rezultatem jest mniej konieczności ponownej obróbki płytek, lepsza jednolitość ich wymiarów oraz stabilna jakość produktu przez cały czas pracy.
Podczas instalacji należy uwzględnić geometrię otworów w piecu oraz sposób podawania mocy. Udostępniamy szkice interfejsów oraz krive kalibracji, aby integracja była prosta. Upewnijcie się, że macie odpowiednie rozwiązania elektryczne dla środowisk o wysokim poziomie czystości, a także sprawdźcie odległości niezbędne do obsługi płytek za pomocą robotów. Grzałki są kompatybilne z systemami SECS/GEM, ale jeśli chcecie mieć możliwość regulacji temperatury według określonych procedur, potrzebujecie dedykowanego kontrolera.