Memastikan Pemanas Wafer Tidak Meletup
Kita menghabiskan banyak masa untuk memastikan tahap ketepatan suhu semasa membina pemanas wafer. Namun, sebenarnya, semua ketepatan tersebut tidak akan berguna jika lapisan pengasingan elektriknya gagal berfungsi dengan baik.
Sebarang kebocoran kecil pada unsur pemanasan boleh merosakkan kawalan elektronik atau memusnahkan keseluruhan kumpulan wafer tersebut dalam sekelip mata. Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Itulah sebabnya kami tidak melakukan ujian sampel secara rawak. Setiap unit perlu melalui ujian tekanan voltan tinggi dan ujian rintangan pengasingan sebelum ia dibenarkan digunakan.
Cara kami melakukannya
Kami menggunakan ujian tekanan voltan yang sangat tinggi—jauh lebih tinggi daripada yang dikenakan semasa penggunaan biasa—antara unsur pemanasan dan badan mesin yang bersifat konduktif. Kami ingin mencari sebarang kelemahan pada lapisan pengasingan tersebut.
Jika terdapat lubang kecil pada lapisan seramik atau kabel yang tidak disambung dengan betul, arus elektrik akan meningkat secara mendadak. Kami akan mengesan kecacatan ini sekarang, bukannya membiarkannya berlaku setelah pemanas tersebut digunakan sebanyak 50 kali.
Mengapa kami begitu teliti
Jika anda pernah mencuba memperbaiki masalah kerosakan elektrik di dalam bilik vakum, anda pasti tahu betapa susahnya tugas tersebut. Ia merupakan masalah yang benar-benar menyusahkan. Dengan mengukur nilai Megaohm, kami dapat memastikan bahawa lapisan pengasingan tersebut cukup kuat. Jika pemanas tersebut gagal ujian tekanan voltan tinggi, ia akan dibuang saja. Anda tidak boleh “memperbaiki” lapisan pengasingan yang rosak. Ia sama ada selamat untuk digunakan, atau ia merupakan barang yang tidak berguna.
Keseimbangan yang perlu dipertimbangkan
Terdapat keseimbangan tertentu yang perlu dipertimbangkan. Jika kita meningkatkan spesifikasi lapisan pengasingan, kita perlu menggunakan lapisan yang lebih tebal. Ini akan meningkatkan rintangan haba antara unsur pemanasan dan wafer. Walaupun ini akan menjadikan peralatan lebih selamat, tetapi masa yang diperlukan untuk memanaskan peralatan tersebut mungkin akan bertambah sedikit. Semua ini bergantung pada cara kita mencari keseimbangan antara keselamatan dan kelajuan untuk setup tertentu.
Kami akan menghantar laporan ujian untuk setiap nombor siri. Dengan cara ini, anda akan tahu dengan tepat berapa besar arus kebocoran yang berlaku sebelum peralatan tersebut sampai ke gudang anda.