Smettete di riscaldare la macchina e iniziate invece a riscaldare i wafer stessi.
Quando si lavano i wafer semiconduttori, è necessario utilizzare il calore. Il problema degli scaldatori tradizionali è che essi distribuiscono l’energia in tutte le direzioni. Questo comporta che le pareti interne dell’apparecchiatura diventino delle “spugne” che assorbono il calore. Di conseguenza, l’esterno dell’apparecchiatura diventa così caldo da poter ustionare gli operatori… È davvero un incubo. Inoltre, si finisce per pagare per l’elettricità necessaria per riscaldare parti metalliche che non ne hanno affatto bisogno.
Abbiamo risolto questo problema utilizzando lampade a infrarossi direzionali.
Il trucco sta nella concentrazione dell’energia
Pensateci come alla differenza tra una lampadina e una torcia elettrica: invece di far diffondere il calore ovunque, queste lampade utilizzano riflettori e rivestimenti speciali per concentrare l’energia esattamente dove è necessario. Il calore colpisce quindi la superficie desiderata e rimane lì. In questo modo non c’è più bisogno di combattere con il calore disperso, e l’energia viene concentrata sui wafer, mantenendo le superfici esterne della macchina a temperatura controllata.
Progettate per ambienti umidi
Le postazioni di lavaggio sono sempre bagnate. Se vi mettete una lampada tradizionale, questa si brucerà o smetterà di funzionare molto rapidamente. Per questo motivo utilizziamo sigilli impermeabili e connettori resistenti all’umidità. Inoltre, trattiamo i contenitori in quarzo in modo che possano resistere all’umidità e ai vapori chimici presenti in ambiente industriale.
Attenzione al flusso di calore
Ecco il compromesso: mentre il resto della macchina rimane fresco, si concentra una grande quantità di energia su un’area minuscola. Bisogna essere molto attenti: se il materiale non riesce a sopportare tale calore localizzato, potrebbe deformarsi. Il tempo è fondamentale: anche un piccolo errore può causare un surriscaldamento dei wafer. È quindi necessario essere precisi.
Come procedere
La cosa migliore è che, una volta cambiato il tipo di lampada, non sarà più necessario spendere soldi per ventilatori di raffreddamento troppo potenti. I costi energetici diminuiranno, e il posto di lavoro diventerà molto più sicuro per gli operatori.
Un consiglio importante: assicuratevi che la lampada sia perfettamente allineata. Anche un errore di 5 gradi può far sì che il calore venga distribuito male, e quindi la lampada continui a riscaldare le pareti dell’apparecchiatura invece dei wafer. Prendetevi il tempo necessario per allinearla correttamente.