Nel processo di litografia, l’uniformità della temperatura durante la fase di riscaldamento non è soltanto un fattore importante per ottenere risultati di qualità: rappresenta addirittura una condizione indispensabile per garantire un buon rendimento del processo. Una variazione di temperatura di 1°C sul wafer può compromettere il controllo delle caratteristiche geometriche dello stesso e causare difetti nel fotoresist. Per eliminare questa variabilità, abbiamo progettato i nostri riscaldatori a infrarossi specifici per ambienti puliti.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Gli elementi a infrarossi a breve lunghezza d’onda trasmettono calore al wafer in modo rapido e diretto; quindi il valore di temperatura desiderato viene raggiunto in pochi secondi. L’uniformità della temperatura sul wafer rimane entro i ±0,1°C nell’intera zona di riscaldamento, mentre la ripetibilità dei risultati è garantita grazie a precisi parametri termici. Il corpo dei riscaldatori è progettato per essere utilizzato in ambienti puliti di classe 1–100: presentano giunzioni sigillate e nessun filamento esposto, così da evitare la formazione di particelle nell’ambiente di lavoro. La potenza erogata rimane costante per più di 5.000 ore, con una variazione di intensità inferiore al 5%.
Il trattamento del fotoresist non tollera errori nel controllo termico. I nostri riscaldatori a infrarossi permettono di ottenere i risultati desiderati sia per il riscaldamento delicato che per quello intensivo; inoltre, si raffreddano rapidamente, riducendo così i tempi di ciclo e aumentando la produttività. Inoltre, si riduce il consumo energetico, poiché è il wafer stesso ad essere riscaldato, e non le pareti della camera di lavorazione. I vantaggi sono evidenti: minori necessità di rifacimento dei lavori, distribuzione più uniforme delle caratteristiche geometriche del wafer, e prestazioni affidabili, shift dopo shift.
Cosa bisogna tenere in considerazione durante l’installazione
È necessario assicurarsi che la geometria del porto di collegamento del forno e l’alimentazione elettrica siano compatibili con i riscaldatori. Forniamo disegni tecnici e curve di calibrazione per semplificare l’integrazione dei riscaldatori nel sistema. È inoltre importante verificare che i componenti elettrici utilizzati siano adatti per ambienti puliti, nonché assicurarsi che ci siano spazi sufficienti per il movimento dei robot incaricati di manipolare il wafer. I riscaldatori sono compatibili con i sistemi SECS/GEM; tuttavia, se si desiderano profili di riscaldamento personalizzati, sarà necessario utilizzare un controller dedicato.