Arrêtez de chauffer les parois de votre chambre à vide
Si vous avez déjà utilisé des lampes IR à fort pouvoir de chauffage dans une chambre à vide, vous savez à quel point c’est problématique. Comme il n’y a pas d’air pour disperser la chaleur, cette énergie n’a nulle part où aller. Elle se retrouve donc stockée dans les parois de la chambre.
Ce n’est pas seulement un gaspillage d’électricité : c’est aussi dangereux. Les parois intérieures peuvent finir par brûler l’opérateur ou endommager les composants que vous essayez de protéger. Ce n’est certainement pas la meilleure façon de gérer un laboratoire.
Le truc, c’est de faire en sorte que la chaleur atteigne bien là où elle est nécessaire.
Au lieu de laisser les rayonnements se disperser dans tous les sens, nous utilisons une technologie IR directionnelle. Imaginez plutôt une lampe de poche plutôt qu’une simple ampoule. Nous utilisons des réfléchisseurs internes et des revêtements spéciaux pour diriger toute cette énergie vers le wafer ou le substrat.
Résultat ? Le substrat reçoit exactement la chaleur dont il a besoin, tandis que les parois de l’appareil restent froides au toucher.
Mais on ne peut pas simplement mettre n’importe quelle lampe dans cet appareil. Des éléments chauffants standards seraient désastreux. Si une lampe libère des composés organiques volatils, cela contaminera le vide et détruira tout votre lot de semi-conducteurs.
C’est pourquoi nous utilisons du quartz de haute pureté, ainsi que des joints qui résistent bien aux conditions extrêmes. Les filaments sont conçus pour supporter des températures élevées sans perturber le vide.
Mais il y a un problème…
Lorsque l’on concentre tellement la chaleur, on obtient une densité thermique très élevée. Cela entraîne une diminution significative du temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée. Mais cela signifie aussi qu’il faut être précis. Si la position de la lampe n’est pas parfaite, ou si la puissance est trop élevée pour la distance concernée, le substrat risque d’être endommagé. Il s’agit donc d’un équilibre délicat à trouver. Il faut ajuster soigneusement la longueur focale et la puissance de la lampe pour obtenir le meilleur résultat.
La bonne nouvelle, c’est que ces appareils sont conçus pour remplacer directement les systèmes IR traditionnels. Il suffit de vérifier que votre alimentation électrique peut supporter la tension et le courant requis – car ces appareils consomment beaucoup plus d’énergie que les systèmes standards.