Dans le domaine de la lithographie, l’uniformité de la température pendant le processus de cuisson n’est pas un élément optionnel : c’est plutôt une condition essentielle pour assurer une qualité de produit satisfaisante. Une variation de 1 °C sur toute la surface de la wafer peut perturber le contrôle de la distorsion optique et provoquer des défauts dans le photorésistant. Nous avons conçu nos chauffages infrarouges pour éliminer cette variabilité dès sa source.
Ce qui compte techniquement Les éléments infrarouges à courte longueur d’onde transmettent de la chaleur rapidement et directement sur la wafer, ce qui permet d’atteindre la température souhaitée en quelques secondes seulement. L’uniformité de la température sur toute la surface de la wafer reste dans une fourchette de ±0,1 °C, et la reproductibilité des résultats est excellente. Le corps du chauffage est conçu pour être utilisé dans des salles propres de classe 1–100 ; il dispose de joints hermétiques et ne comporte pas de filaments exposés, ce qui évite la production de particules. La puissance de chauffage reste constante pendant plus de 5 000 heures, avec une déviation inférieure à 5 %.
Le traitement du photorésistant ne tolère pas de mauvais contrôles thermiques. Nos chauffages infrarouges permettent d’obtenir les paramètres nécessaires tant pour les processus de cuisson douce que dure. De plus, ils se refroidissent rapidement, ce qui réduit le temps de cycle et augmente la productivité. La consommation d’énergie est réduite, car c’est la wafer elle-même qui est chauffée, et non les parois de la chambre. Les avantages sont nombreux : moins de retours en production, une distribution plus précise de la distorsion optique, et une performance fiable d’un quart de travail à l’autre.
Voici ce qu’il faut prévoir lors de l’installation : il convient de faire correspondre la géométrie des orifices du four ainsi que l’alimentation en énergie. Nous fournissons des schémas d’interface et des courbes de calibration pour faciliter l’intégration. Assurez-vous également que l’installation électrique est adaptée aux exigences des salles propres, et vérifiez les distances requises pour le manutentionnement de la wafer. Les chauffages sont compatibles avec les systèmes SECS/GEM. Cependant, si vous souhaitez utiliser des profils de cuisson basés sur des recettes spécifiques, plutôt que des températures fixes, vous aurez besoin d’un contrôleur spécialisé.