در فرآیند خشک کردن کاتالیست، این کار صرفاً یک رویهی ساده نیست؛ بلکه یک فرآیند حرارتی پیچیده است که میتواند باعث کاهش بازدهی تولید شود. فرهای قرارگیری در محیطهای دمایی مختلف، باعث ایجاد تفاوتهای دمایی در سطح ویفر میشوند؛ این امر منجر به توزیع نامتوازن کاتالیست، ایجاد سوراخهای کوچک و همچنین مشکلات دیگر در سطح ویفر میشود.
ما یک لامپ خشککن خاص برای رفع این مشکلات طراحی کردهایم؛ این لامپ از نوع نور مادون قرمز است و با استفاده از همان استانداردهای حرارتی مورد استفاده در فرآیندهای فوتورزیست و لیتوگرافی ساخته شده است.
آنچه که در طول روز نیاز داریم، کنترلی است که بتوانیم به آن اعتماد کنیم و آن را بررسی کنیم. این سیستم به سرعت دمای مورد نظر را به دست میآورد؛ بدون نیاز به تماس با سطح ویفر، و با الگوهای قابل تکرار. یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند، و پایداری دمایی در حالت کار مداوم نیز حفظ میشود.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کیفیت ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ مواد و قطعات مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات در حین کار به حداقل برسد. این سیستم میتواند شیفت پس از شیفت کار کند؛ با همان الگوی حرارتی و رفتار یکنواخت، در هر بار کار.
دلیل موفقیت این سیستم این است که تغییرات ناشی از فرآیند خشککردن را از بین میبرد؛ در نتیجه، زمان لازم برای خشک کردن کاتالیست کمتر میشود، ساختار کاتالیست بهتر میشود و نیاز به تعمیرات کمتر میشود. مصرف انرژی نیز کمتر میشود، زیرا لامپ تنها سطح مورد نظر را گرم میکند، نه کل محفظه. این سیستم برای کار ۲۴ ساعته مناسب است؛ با فواصل تعمیرات قابل پیشبینی، و بدون اختلالات تصادفی.
نکتهی مهمی که باید در نظر گرفت این است که فرآیند خشککردن با نور مادون قرمز، نیازمند دقت در تنظیمات جهتگیری لامپ و منعکسکنندهها است تا از ایجاد سایهها در سطح ویفر جلوگیری شود. ما یک مجموعهی تأییدیهای نیز در اختیار شما قرار میدهیم؛ شامل نقشههای دمایی، الگوهای شدت نور و قطعات مورد نیاز برای نصب در اتاقهای پاک؛ تا اولین بار کار شما نیز دقیقاً مطابق با استانداردهای مشخص شده باشد.