مطمئن شدن از اینکه هیترهای ویفر شما منفجر نشوند
ما در هنگام ساخت هیترهای ویفر، زمان زیادی را صرف تعیین محدودیتهای حرارتی میکنیم. اما راستش، تمام این دقتها بیفایده خواهد بود اگر عایقبندی الکتریکی دچار مشکل شود.
حتی یک نشت کوچک در عنصر گرمایشی میتواند کنترلر دستگاه را از کار بیندازد یا کل محموله سیلیکون را نابود کند. این یک سناریوی وحشتناک است. به همین دلیل، ما از روش «نمونهبرداری تصادفی» استفاده نمیکنیم؛ قبل از اینکه هر دستگاه از کارخانه خارج شود، آن را تحت آزمایش ولتاژ بالا و مقاومت عایقبندی قرار میدهیم.
روشی که ما برای این کار استفاده میکنیم
ما هیتر را تحت آزمایش ولتاژ بالا قرار میدهیم؛ ولتاژی که بسیار بالاتر از ولتاژ مورد استفاده در شرایط عادی است. هدف ما پیدا کردن هرگونه نقص در لایه عایقبندی است.
اگر در لایه سرامیکی یا در اتصالات ترمینالها نقصی وجود داشته باشد، جریان الکتریکی افزایش خواهد یافت. ما این نقصها را در همین مرحله پیدا میکنیم، تا اجازه ندهیم این مشکلات تا پس از ۵۰ بار چرخه حرارتی در دستگاه شما ادامه یابند.
چرا ما در این مورد آنقدر سختگیر هستیم؟
اگر تا به حال سعی کردهاید مشکلات مربوط به قطعات الکتریکی در محیطهای خلأ را برطرف کنید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. این نوع مشکلات باعث میشود که فرد بخواهد موهایش را بکشد!
با اندازهگیری مقاومت الکتریکی، مطمئن میشویم که لایه عایقبندی کاملاً محکم است. اگر هیتر در آزمایش ولتاژ بالا شکست بخورد، آن را در بخش ضایعات قرار میدهیم. نمیتوان لایه عایقبندی دچار مشکل را تعمیر کرد؛ یا آن دستگاه ایمن است، یا باید دور انداخته شود.
توازنی که باید در نظر بگیرید
در اینجا نیاز به تعادلی وجود دارد. اگر معیارهای عایقبندی را بالاتر ببریم، مجبور خواهیم بود از لایههای ضخیمتری استفاده کنیم. این کار باعث افزایش مقاومت حرارتی بین عنصر گرمایشی و ویفر میشود. در نتیجه، دستگاه ایمنتر خواهد بود، اما زمان راهاندازی آن کمی طولانیتر خواهد شد. هدف ما یافتن تعادل مناسب بین ایمنی و سرعت برای سیستم شماست.
ما گزارشهای آزمایشی مربوط به هر شماره سریال را ارسال خواهیم کرد؛ به این ترتیب، شما میتوانید قبل از رسیدن دستگاه به انبار، دقیقاً بدانید جریان نشتی چقدر بوده است.