تنظیم دمای مناسب برای رشد نانولولههای کربنی
هنگام رشد نانولولههای کربنی، به راحتی میتوان اهمیت بیش از حدی به میزان توان مصرفی داد. اما مسئله اینجاست که اهمیتی ندارد چقدر انرژی وارد سیستم شود، اگر آن انرژی به واقع به ویفر نرسد. شما به توان بیشتری نیاز ندارید؛ بلکه به روشی بهتر برای هدایت انرژی نیاز دارید.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. هدف اصلی، جلوگیری از هدررفت انرژی است.
چرا طلا؟
اگر از گرمکنهای استاندارد کوارتزی استفاده کنید، احتمالاً مقدار زیادی انرژی در دیوارههای محفظه از بین خواهد رفت. این کار مانند گرم کردن یک اتاق با پنجره باز است.
ما آنها را با پوششهای طلایی با خلوص بالا جایگزین کردیم. چرا؟ چون طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز عالی عمل میکند. این روش بهتر از آلومینیوم یا فولاد صیقلی است.
در نتیجه، فوتونها به جای گرم کردن کل محفظه، مستقیماً به سمت ویفر هدایت میشوند. این کار باعث میشود انرژی بهتر متمرکز شود. علاوه بر این، سیستم خنککننده نیاز به کار بیشتری نخواهد داشت، و شما متوجه خواهید شد که به سرعت به دمای لازم برای رشد نانولولهها میرسید.
مزایا و معایب
نمیتوانید فقط یک بازتابنده را در آنجا قرار دهید و کار تمام شود. باید توان لامپ را با شکل واقعی بازتابنده هماهنگ کنید.
ما معمولاً از منابع تشعشعات مادون قرمز کوتاهامواجی برای این کار استفاده میکنیم. این منابع میتوانند بهتر از گازها عبور کنند و مواد ویفر را بهتر گرم کنند.
اما یک هشدار: باید به تنظیم دقیق موقعیت لامپ توجه کنید. چون طلا گرما را به خوبی تمرکز میکند، حتی کوچکترین خطا در موقعیت لامپ میتواند باعث ایجاد نقاط داغ شود. مطمئن شوید که براکتهای نصب لامپ کاملاً محکم هستند.
مزایای نهایی
بهترین چیز این است که میتوانید با استفاده از میزان توان کمتری، به دمای مورد نظر برسید. هزینه برق کاهش مییابد و کل دستگاه نیز سردتر کار میکند.
همچنین، این روش از تغییرات دمایی در محفظه جلوگیری میکند، که این امر باعث ایجاد محیطی پایدار میشود. فقط باید سطوح طلایی را کاملاً تمیز نگه دارید؛ کمی گرد و غبار یا لکههای اکسیداسیون میتواند بازتابندگی را کاهش دهد. اگر سطوح را تمیز نگه دارید، دستگاه به خوبی کار خواهد کرد.