Bei der Trocknung von Katalysatoren handelt es sich nicht um eine einfache Formalität – es geht dabei vielmehr um das richtige Temperaturmanagement. Andernfalls kann das die Erträge beeinträchtigen. Konvektionsöfen führen zu Ungleichmäßigkeiten in der Temperaturverteilung. Heizplatten wiederum verursachen Temperaturunterschiede auf der Wafer-Oberfläche. Das führt zu unausgeglichenen Beladungen des Katalysators, zu Löchern sowie zu Fehlern, die bei der späteren Verarbeitung sichtbar werden.
Wir haben eine Trockenlampe entwickelt, die genau auf diese Anforderungen ausgelegt ist: Sie arbeitet mit Infrarotstrahlung und wird mit derselben Präzision konstruiert wie die Geräte zur Trocknung von Fotolacken und für die Lithografie.
Was man täglich braucht, ist eine Kontrolle, auf die man sich verlassen kann. Das System erreicht schnell die gewünschte Temperatur – ohne Berührung mit dem Substrat – und liefert wiederholbare Ergebnisse. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf der Wafer-Oberfläche bleibt innerhalb von ±0,1°C innerhalb der beleuchteten Zone. Zudem bleibt die Stabilität der Setpunkttemperatur auch unter kontinuierlicher Belastung erhalten.
Das Gerät eignet sich für Reinräume der Klassen 1 bis 100. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass während des Betriebs keine Partikel entstehen. Zudem funktioniert das Gerät immer wieder zuverlässig – mit demselben Temperaturprofil und demselben Verhalten, Batch für Batch.
Der Grund dafür ist einfach: Das Gerät beseitigt die Unregelmäßigkeiten während des Trocknungsprozesses. Dadurch wird die Trocknungszeit verkürzt, die Morphologie des Katalysators bleibt konstant und es werden weniger Nachbearbeitungsschritte erforderlich. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe nur das Zielobjekt erwärmt, nicht den gesamten Raum. Die Zuverlässigkeit des Geräts ist 24/7 gegeben – mit planbaren Wartungsintervallen, anstatt unvorhersehbaren Ausfällen.
Ein praktischer Hinweis: Die Infrarottrocknung funktioniert nur in Richtung des Lichtstrahls. Deshalb müssen die Geometrie der Halterung sowie die Ausrichtung der Reflektoren genau überprüft werden, um Schatteneffekte auf den bearbeiteten Flächen zu vermeiden. Wir liefern außerdem ein Validierungskit – mit Thermoelementkarten, Intensitätsprofilen sowie montagemitteln, die für Reinräume geeignet sind. So können Sie sicher sein, dass die ersten Tests genauso gut ausgehen wie die Ergebnisse aus den Spezifikationen.