V prostředí litografie není rovnoměrnost teploty během procesu zahřívání žádným „příjemným“ prvkem – jedná se spíše o faktor, který ovlivňuje kvalitu výsledku. Odchylka teploty o 1 °C na povrchu čipu může narušit kontrolu jeho rozměrů a způsobit vady v fotorezistu. Naše ohřívače v čistých místnostech jsou navrženy tak, aby tento problém odstranily již na samém počátku.
Co je z hlediska technologie důležité:
Krátkovlnné infračervené elementy působí na čip rychlým a přímým tepelným vlivem, takže nastavená teplota se dosáhne během několika sekund. Rovnoměrnost teploty na povrchu čipu zůstává v rozmezí ±0,1 °C po celé oblasti zahřívání. Opakovatelnost výsledků je také velmi vysoká. Tělo ohřívače je určeno pro čisté místnosti třídy 1–100 – má uzavřené spoje a žádné expozované vlákna, což zabraňuje vzniku částic v prostředí. Výkon ohřívače zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity tepla je menší než 5 %.
Při zpracování fotorezistu nepřejí chyby v termální kontrole. Naše infračervené ohřívače umožňují dosažení požadované teploty jak při měkkém, tak i tvrdém zahřívání. Poté se rychle ochladí, čímž se zkracuje doba procesu a zvyšuje efektivita práce. Spotřeba energie klesá, protože se zahřívá samotný čip, nikoliv stěny komory. Výsledkem je menší počet oprav, lepší rozložení rozměrů čipu a spolehlivý výkon v průběhu celé směny.
Na co se musíte při instalaci zaměřit: Musíte zajistit soulad geometrie portů ohřívače s napájecími součástkami. Poskytujeme návrhy rozvodů a kalibrační křivky, aby integrace proběhla hladce. Ujistěte se, že máte elektrické konektory vhodné pro použití v čistých místnostech, a zkontrolujte také vzdálenosti potřebné pro manipulaci s čipy pomocí robotů. Ohřívače jsou kompatibilní s zařízeními SECS/GEM. Pokud však chcete použít profil zahřívání založený na konkrétních parametrech místo pevné teploty, budete potřebovat speciální řídicí jednotku.