ফ্যাব ফ্লোরে, সফ্ট বেক বা হার্ড বেকের সময় ০.১°C এর মতো তাপমাত্রার পরিবর্তনই যথেষ্ট যাতে সিডি-গুলো নষ্ট হয়ে যায়, অপ্রয়োজনীয় কণাগুলো উৎপন্ন হয় এবং উৎপাদন কমে যায়। ঐতিহ্যবাহী ড্রায়ারগুলো থার্মাল ট্রানজিয়েন্টগুলোর পর সৃষ্ট অসমানতাগুলো মোকাবেলা করতে পারে না। আমরা এই ওয়েফার ড্রায়ারটি তৈরি করেছি যাতে এই ধরনের অনিশ্চয়তাগুলো দূর হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ-আইসোলেটেড চেম্বারে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করে ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখি। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে কাজ করে; আমরা ইন-লাইন মনিটরিংয়ের মাধ্যমে কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়া নিশ্চিত করি। ফটোরেসিস্ট বেকিংয়ের প্রক্রিয়াটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে; সেটপয়েন্টের স্থিতিশীলতা ±০.২°C এর মধ্যে থাকে। ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন ও সাইডওয়াল প্রোফাইলগুলো অপরিবর্তিত থাকে। হিটারের কাঠামোর কারণে সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা পরিবেশগত পরিবর্তনগুলো থেকে আলাদা থাকে; ফলে প্রতিটি ব্যাচেই একই ধরনের তাপমাত্রা থাকে।
কেন এটি লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় ড্রায়ারটি লাইনওয়েডথ, অ্যাডহেশন এবং অবশিষ্ট অ্যাসিডের পরিমাণ নির্ধারণ করে। উচ্চ স্থিতিশীলতার ফলে কম রিওয়ার্ক ও কম পুনর্মূল্যায়নের প্রয়োজন হয়। ক্লিনরুম সামঞ্জস্য ও কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়ার ফলে ত্রুটিগুলো কমে যায়। অপ্রত্যাশিত বন্ধ না হওয়ায় প্রক্রিয়াটি নিরবচ্ছিন্নভাবে চলতে থাকে। এমিটারগুলো দ্রুত কাজ করে এবং কম শক্তিতে চলে; ফলে শক্তি ব্যবহার কমে যায়। ফলাফল হলো স্থিতিশীল প্রক্রিয়া, কম ত্রুটি এবং নির্ভরযোগ্য সাইকেল টাইম।
ইনস্টলেশনের জন্য কী প্রয়োজন?
এই ইউনিটটির জন্য ডেডিকেটেড, ফিল্টার্ড পাওয়ার সরবরাহ এবং নাইট্রোজেন পার্জ পাথ প্রয়োজন; যাতে পূর্ণ তাপমাত্রায়ও কণাগুলো অক্ষত থাকে। স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাকে এটি সহজেই ইন্টিগ্রেট করা যায়; কিন্তু থার্মাল মাস ও কানেক্টরের অবস্থানটি বর্তমান হ্যান্ডলারের সাথে মিলে থাকতে হবে, যাতে কোনো যান্ত্রিক বাধা না থাকে। বেকিং প্রক্রিয়াটি ঠিক করার জন্য একটি ছোট টেস্ট রান করা উচিত; একবার সেট হয়ে গেলে প্রোফাইলটি শিফট ও ওয়েফার লটগুলোর মধ্যে একই থাকে।