লাইনে ক্যাটালিস্ট শুকানোর প্রক্রিয়াটি কোনো সাধারণ প্রক্রিয়া নয়; এটা একটি গুরুত্বপূর্ণ তাপীয় প্রক্রিয়া। ভুল তাপীয় নিয়ন্ত্রণের ফলে উৎপাদন ক্ষমতা কমে যেতে পারে। কনভেকশন ওভেনগুলো তাপ সমানভাবে ছড়াতে পারে না; হট প্লেটগুলোর কারণে ওয়েফারে তাপের বৈষম্য দেখা দেয়। এর ফলে ক্যাটালিস্টের পরিমাণ অসমান হয়ে যায়, ছিদ্র তৈরি হয়, আর স্ট্যাক বন্ডিংয়ের সময় ত্রুটি দেখা দেয়।
ঠিক এই সমস্যাগুলো মোকাবিলার জন্যই আমরা একটি ড্রাইং ল্যাম্প তৈরি করেছি। এটা NIR তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ল্যাম্প; ফটোরেসিস্ট বেক ও লিথোগ্রাফির ক্ষেত্রে ব্যবহৃত তাপীয় নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি অনুসরণ করে এটি ডিজাইন করা হয়েছে।
দৈনন্দিন কাজের জন্য আপনার প্রয়োজন হলো এমন নিয়ন্ত্রণ যা নির্ভরযোগ্য ও পরীক্ষণযোগ্য হবে। এই সিস্টেমটি নিয়ার-ইনফ্রারেড তরঙ্গদৈর্ঘ্য ব্যবহার করে দ্রুত তাপ সরবরাহ করে; সাবস্ট্রেটের সাথে কোনো সংস্পর্শ নেই, আর ফলাফলগুলো পুনরাবৃত্তিযোগ্য। আলোকিত অঞ্চলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; নিরন্তর ব্যবহারেও তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে।
এটা ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত। এখানে ব্যবহৃত উপকরণগুলো এমনভাবে নির্বাচিত হয়েছে যাতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয়। এটা একই ধরনের তাপীয় প্রক্রিয়া ও আচরণ বজায় রাখে—ব্যাচ থেকে ব্যাচে।
ব্যবহারিক দিক থেকে এটি কার্যকর কারণ এটা ড্রাইং প্রক্রিয়ায় উৎপন্ন বৈচিত্র্যগুলো দূর করে। ফলে দ্রুত শুকানো সম্ভব হয়, ক্যাটালিস্টের গঠন ভালো থাকে, আর পুনরাবৃত্তিমূলক কাজের প্রয়োজন কমে যায়। ল্যাম্পটি শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে; চেম্বারকে নয়। এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য নির্মিত; রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমা নির্ধারণ করা যায়, অনিয়মিত ত্রুটির সম্ভাবনা নেই।
একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো: NIR ড্রাইং প্রক্রিয়াটি “লাইন-অফ-সাইট” পদ্ধতিতে কাজ করে; তাই ফিক্সচারের জ্যামিতি ও রিফ্লেক্টরের অ্যালাইনমেন্ট যাচাই করা আবশ্যিক। আমরা একটি ভ্যালিডেশন কিটও সরবরাহ করি—থার্মোকাপল ম্যাপ, ইন্টেনসিটি প্রোফাইল, এবং ক্লিনরুম-সংগত মাউন্টিং হার্ডওয়্যার। এর ফলে প্রথমবারের চেষ্টাতেই নির্দিষ্ট মানগুলো অর্জন করা সম্ভব হয়।